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利用超声振动锯切硅片中的磨粒作用机制
沈剑云,朱旭,李政材,徐西鹏
The abrasive grain action mechanism in the process of sawing monocrystalline with radial ultrasonic vibration assistance
SHEN Jianyun, ZHU Xu, LI Zhengcai, XU Xipeng
陕西师范大学学报(自然科学版) . 2018, (3): 21 -25 . 

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