利用超声振动锯切硅片中的磨粒作用机制

陕西师范大学学报(自然科学版) ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (3) : 21-25.

利用超声振动锯切硅片中的磨粒作用机制

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The abrasive grain action mechanism in the process of sawing monocrystalline with radial ultrasonic vibration assistance

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2018-01-16
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2022-08-03

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