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磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响
谢晓康缑园渊,杨佳,边小兵,周剑平
Effect of RFmagnetron sputtering parameters on the growth and dielectric property of BST thin film
XIE Xiaokang, GOU Yuanyuan, YANG Jia, BIAN Xiaobing, ZHOU Jianping
陕西师范大学学报(自然科学版) . 2014, (5): 37 -42 . 

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