磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

陕西师范大学学报(自然科学版) ›› 2014, Vol. 42 ›› Issue (5) : 37-42.

物理学

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Effect of RFmagnetron sputtering parameters on the growth and dielectric property of BST thin film

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2014, 42(5): 37-42

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2014-04-15
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