铝诱导晶化非晶硅薄膜研究

刘伟,高斐,方晓玲,王建军,张佳雯,晏春愉

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陕西师范大学学报(自然科学版) ›› 2007, Vol. 35 ›› Issue (4) : 33-36.
专题研究

铝诱导晶化非晶硅薄膜研究

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Study on aluminum-induced crystallization of amorphous silicon thin film

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