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射频磁控溅射和电子束蒸发制备ZnO薄膜特性的比较
高立,张建民
Comparisons between ZnO thin films fabricated by RF-magnetron sputtering and Electron-beam evaporation
GAO Li, ZHANG Jian-min
陕西师范大学学报(自然科学版) . 2009, (3): 23 -27 . 

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