磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

陕西师范大学学报(自然科学版) ›› 2016, Vol. 44 ›› Issue (6) : 26-30.

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Influence of magnetron sputtering parameters on the growth of barium strontium titanate thin films and dielectric properties

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2016-04-06
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