非线性Lamb波检测硅片亚表面微裂纹的数值仿真与机理分析

胡兰艺; 尹莘新; 许才彬; 赵友选; 邓明晰

doi:10.15983/j.cnki.jsnu.2026209

陕西师范大学学报(自然科学版) ›› 2026, Vol. 54 ›› Issue (2) : 11-18. DOI: 10.15983/j.cnki.jsnu.2026209

超声无损检测专题(主持人:李卫彬　邓明晰)

非线性Lamb波检测硅片亚表面微裂纹的数值仿真与机理分析

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Numerical simulation and mechanism analysis of subsurface microcrack detection in silicon wafers using nonlinear Lamb waves

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Received	Published
2025-10-01	2026-03-10
Issue Date
2026-03-24

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